Продукция
Создавая совершенство, соединяя будущее
| Модуль (в системе) | Ключевые технологии | Показатели производительности |
|---|---|---|
| Многофункциональная ванна для мокрого травления | Конструкция «четыре в одном» (травление / очистка / удаление плёнки / пассивация), антикоррозионный материал PTFE | Контроль температуры: ±0,5 ℃ (от комнатной температуры до 80 ℃), поддержка барботажа азотом |
| Плазменный сухой травитель | Режим ICP-RIE (индуктивно связанная плазма) или RIE с автоматическим согласующим устройством | Вакуум: ≤5×10-⁵ Па, равномерность травления: ±3% (пластина 4") |
| Микрозонная графическая система | Лазерная прямая запись (405 нм) или вакуумное контактное экспонирование с нано-точной юстировкой | Разрешение: 0,5μm (фотолитография) / 2μm (лазер), точность совмещения: ±0,25μm |
| Блок мониторинга in situ | Оптическая интерферометрия + рамановская спектроскопия | Точность мониторинга толщины в реальном времени: ±1 нм, чувствительность анализа состава: 0,1 ат.% |
| Система очистки отходящих газов | Трёхступенчатая обработка (низкотемпературная конденсация + адсорбция на активированном угле + каталитическое разложение) | Степень удаления HF/HCl >99,9%, в соответствии со стандартом NFPA 45 |
| Интеллектуальная платформа управления | Интеграция в IoT, облачное хранение технологических рецептов | Поддержка управления через Python-скрипты, цикл трассируемости данных >5 лет |
+86 0519-85910151 
Сообщение 