Светодиодная прецизионная экспонирующая машина представляет собой комплекс электрооптического, механического, вакуумного и другого интегрированного метапрецизионного фотолитографического оборудования, управляемого компьютером, в котором используется сфокусированный электронный пучок линейного света для экспонирования подложки, покрытой фоторезистом, фоторезист, облученный физико-химическими свойствами, изменяет свои физические и химические свойства в растворителе, образуя область с хорошими растворителями или плохими растворителями, чтобы сформировать тонкий графический рисунок при травлении.