В июне 2024 года компания Changzhou Weiden Electronic Equipment Co., Ltd. (далее «Weiden Electronics») официально поставила высокоточную полностью автоматизированную линию по производству травления в научно-исследовательский институт, входящий в состав AVIC. Эта производственная линия будет использоваться для изготовления лопаток турбин для двигателей истребителей следующего поколения, решая проблему узкого места в обработке микроотверстий в высокотемпературных сплавах.
Основой производственной линии является разработанная компанией Weiden многоосевая камера для прецизионного травления. Благодаря системе контроля давления распыления в субмикронном диапазоне и алгоритмам визуальной компенсации она обеспечивает стабильные допуски травления в пределах ±0,02 нм, что на 300 % превосходит точность традиционного оборудования. Она также оснащена модулем нулевого сброса выхлопных газов и сточных вод: кислые выхлопы проходят двухступенчатую очистку щелочным распылением и адсорбционную очистку активированным углем, в результате чего концентрация выбросов не превышает 1 мг/м³. Для сточных вод, содержащих никель, используется технология мембранного разделения и электролитического восстановления, что позволяет достичь 99% восстановления тяжелых металлов и более 90% повторного использования воды, что полностью соответствует специальным ограничительным требованиям GB31573-2015 «Стандарты выбросов загрязняющих веществ от неорганической химической промышленности».

«Эта производственная линия является первым примером бесшовной интеграции процессов травления с шестиосевыми роботами», — пояснил технический директор Weiden во время приемочной инспекции. «Автоматизированное захватывание роботами в сочетании с позиционированием с помощью 3D-лазерного сканирования повышает эффективность обработки сложных изогнутых деталей на 50 % и сокращает ручное вмешательство на 80 %». Прогнозируемая годовая экономия включает 2 миллиона юаней на утилизации опасных отходов и сокращение сброса сточных вод на 15 000 тонн.
В ходе 18-месячного сотрудничества команда Weiden преодолела такие проблемы, как контроль трещин от напряжения в высокотемпературных сплавах и достижение соотношения сторон микропор 1:20, получив два патента на полезную модель. Этот проект знаменует собой официальное вхождение высокотехнологичного оборудования для травления отечественного производства в основную цепочку поставок для аэрокосмической промышленности, заложив технологическую основу для будущих применений в аэрокосмических двигателях и литографических масках для полупроводников.